製品紹介

Product 01

超微量水分計
FalconTraceシリーズ

超微量な水分を超高速で計測し、
製造プロセスに革新をもたらす。

超微量水分計について

超微量水分計「FalconTrace」は、ボールSAWセンサを用いて、工業用ガスや天然ガスにごく微量含まれる水分子を定量的に測定する装置です。

応答速度が極めて早く、水分量の変化をリアルタイムでモニターでき、水分量とバックグランドガス組成分析の2項目測定も可能。気体中の水分濃度を1ppb(10億分の1)レベルまで正確に測定することができます。

ボールSAWセンサの測定原理

① すだれ状電極(IDT; Inter Digital Transducer)が弾性表面波を発生
② 弾性表面波がボールの赤道上を周回し塗布した感応膜のわずかな変化に反応
③ 反応した弾性表面波の信号変化をすだれ状電極が検出
④ 多重周回により微小な変化を積算することで高感度なセンシングを実現

導入事例・用途

  • 半導体製造装置メーカー
    (主に前工程)
  • 蓄電池メーカーおよび
    その材料メーカーの製造工程
  • 産業ガスメーカー

製品ラインナップ

応答速度が極めて早く、水分量の変化を秒単位でモニターできるので、半導体や二次電池の製造プロセスにおいて製品の歩留まりや品質安定に役立ちます。
バックグラウンドガスごとに再構成する必要がなく、天然ガスなどの成分に変動がある場合には同時検知も可能です。また、センサ材料が水晶の球であることから耐腐食性であり、軽量で持ち運びがしやすいことも大きな利点です。

FT-700WT

「超」微量水分計測を実現したシリーズ最上位機種

  • 露点−110℃から−20℃までのワイドレンジを計測
  • 露点計測に加え、バックグラウンドガスの組成(平均分子量相当)も%レベルで検出
    ※バックグラウンドガス:水分量の計測対象となるガス
  • 天然ガスから高純度ガスまで、この1台でカバー

用途例

産業ガスの製造工程・出荷時の品質管理、半導体製造材料ガスの純度管理

FT-400WT

ミドルレンジでのリアルタイム計測を可能にした中位機種

  • 露点−90℃からの変化を1秒以内で計測、リアルタイム制御系の計測に最適
  • 装置組み込み型への変更も可能
    ※当社までお問合せください

用途例

一般製造ラインの品質管理、電池製造工程の水分量監視

FT-300WT

高速応答性はそのままに可搬性を重視した小型汎用機種

  • 露点−70℃からの変化を1秒以内で計測、リアルタイムな計測システムにも対応
  • 重量2kgと軽量・小型、対象エリアへの持ち運びが容易
  • バッテリー駆動により商用電源が無い場所でも使用可能

用途例

ドライボックス、空間の水分量分布、一般ガス

仕様詳細

他社製品との比較